電子氣體

在電子半導體生產行業中

氣體供應劃分成常用氣體和特殊氣體。

常用氣體指：
N2、H2、O2、Ar、He..等。

特殊氣體指：
半導體生產環節中，比如延伸、離子注進、摻和、洗滌、遮掩膜形成過程中使用到一些化學氣體。

電子用氣體項目

甲矽烷(SiH₄)

磷化氫(PH₃)

氧化亞氮(N₂O)

氨氣(NH₃)

六氟化硫(SF₆)

三氟化氮(NF₃)

四氟化碳(CF₄)

三氯化硼(BCl₃)

三氟化硼(BF₃)

氯化氫(HCL)

氯氣(Cl₂)

八氟環丁烷(C₄F₈)

六氟乙烷(C₂F₆)

硫化氫(H₂S)